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實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品及系統(tǒng)
工業(yè)設(shè)備及系統(tǒng)

納米位移臺(tái)

PI XYZ Piezo Nanopositioner
PI  XYZ Piezo Nanopositioner
Travel ranges to 100 μm × 100 μm in X, Y and to 10 μm in Z
*  Resolution to 0.1 nm due to capacitive sensors
*  High velocity versions with direct drive
*  Vacuum-compatible and nonmagnetic versions on request
*  Parallel kinematics for highe accuracy and dynamics
 Parallel metrology for active compensation of guiding errors
*   Zero-play, high-precision flexure guide system
*  Clear aperture 50 mm × 50 mm for transmitted-light applications




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