高精度振鏡掃描光電流測試系統(tǒng)為微納器件(尤其是片上光電器件)的光電響應(yīng)測試提供了優(yōu)良的測試平臺,納米級逐點(diǎn)掃描模式精確表征片上微納器件的空間光電響應(yīng)特性;實(shí)時觀察空間各點(diǎn)的電壓、電流輸出;逐點(diǎn)測試I-V特征曲線;可根據(jù)客戶需求定制化產(chǎn)品,比如擴(kuò)展低溫、光譜測試等功能。
基本配置參數(shù):
電學(xué)測試盒
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包括:測試盒,測試座,測試線,28針。
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光電測試配置
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前置放大器,鎖相放大器
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樣品臺
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四維度。XYZ三軸平移,行程13 mm,分辨率1 um。 θ旋轉(zhuǎn),粗調(diào)360°微調(diào)±7°,最小讀數(shù)0.2°,分辨率0.01°
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振鏡掃描
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掃描步進(jìn)精度<20nm, 掃描范圍>100um
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顯微鏡
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20X,50X,100X
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激光器
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532nm,光纖輸出,激光控制器,可任意添加其他波段激光
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環(huán)境
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可做暗室屏蔽
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軟件
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基于Labview編寫,全自動掃描,實(shí)時結(jié)果顯示?筛鶕(jù)客戶需求升級軟件功能。
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其他選配功能
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(1)低溫(77K),分為簡易版(77K,不可變溫),中配版(液氮制冷,可變溫),高配版(液氦制冷,可變溫,臺式閉循環(huán)/循環(huán)流恒溫器)
(2)源表I-V測量(mapping),實(shí)現(xiàn)器件的I-V測量,
(3)光譜測試,配備光譜儀,可進(jìn)行樣品空間掃描熒光測試。
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測試結(jié)果展示:

應(yīng)用領(lǐng)域:
微納器件的光電響應(yīng)測試,包括:石墨烯,二維材料,微納半導(dǎo)體材料,有機(jī)材料等制備的光電器件表征。