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實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品及系統(tǒng)
工業(yè)激光器及激光器系統(tǒng)
半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)

實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品及系統(tǒng)

高精度振鏡掃描光電流測試系統(tǒng)

發(fā)布日期:2021/11/10 15:27:05  點(diǎn)擊數(shù):1261



高精度振鏡掃描光電流測試系統(tǒng)為微納器件(尤其是片上光電器件)的光電響應(yīng)測試提供了優(yōu)良的測試平臺,納米級逐點(diǎn)掃描模式精確表征片上微納器件的空間光電響應(yīng)特性;實(shí)時觀察空間各點(diǎn)的電壓、電流輸出;逐點(diǎn)測試I-V特征曲線;可根據(jù)客戶需求定制化產(chǎn)品,比如擴(kuò)展低溫、光譜測試等功能。





 


基本配置參數(shù):

電學(xué)測試盒

包括:測試盒,測試座,測試線,28針。

光電測試配置

前置放大器,鎖相放大器

樣品臺

四維度。XYZ三軸平移,行程13 mm,分辨率1 um。 θ旋轉(zhuǎn),粗調(diào)360°微調(diào)±7°,最小讀數(shù)0.2°,分辨率0.01°

振鏡掃描

掃描步進(jìn)精度<20nm, 掃描范圍>100um

顯微鏡

20X50X,100X

激光器

532nm,光纖輸出,激光控制器,可任意添加其他波段激光

環(huán)境

可做暗室屏蔽

軟件

基于Labview編寫,全自動掃描,實(shí)時結(jié)果顯示?筛鶕(jù)客戶需求升級軟件功能。

其他選配功能

1)低溫(77K),分為簡易版(77K,不可變溫),中配版(液氮制冷,可變溫),高配版(液氦制冷,可變溫,臺式閉循環(huán)/循環(huán)流恒溫器)

2)源表I-V測量(mapping),實(shí)現(xiàn)器件的I-V測量,

3)光譜測試,配備光譜儀,可進(jìn)行樣品空間掃描熒光測試。




測試結(jié)果展示:




應(yīng)用領(lǐng)域:

微納器件的光電響應(yīng)測試,包括:石墨烯,二維材料,微納半導(dǎo)體材料,有機(jī)材料等制備的光電器件表征。


 


 


 


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