高精度振鏡掃描光電流測試系統(tǒng)為微納器件（尤其是片上光電器件）的光電響應(yīng)測試提供了優(yōu)良的測試平臺，納米級逐點(diǎn)掃描模式精確表征片上微納器件的空間光電響應(yīng)特性；實時觀察空間各點(diǎn)的電壓、電流輸出；逐點(diǎn)測試I-V特征曲線；可根據(jù)客戶需求定制化產(chǎn)品，比如擴(kuò)展低溫、光譜測試等功能。
基本配置參數(shù)：
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電學(xué)測試盒
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包括：測試盒，測試座，測試線，28針。
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光電測試配置
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前置放大器，鎖相放大器
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樣品臺
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四維度。XYZ三軸平移，行程13 mm，分辨率1 um。 θ旋轉(zhuǎn)，粗調(diào)360°微調(diào)±7°，最小讀數(shù)0.2°，分辨率0.01°
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振鏡掃描
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掃描步進(jìn)精度<20nm, 掃描范圍>100um
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顯微鏡
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20X，50X，100X
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激光器
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532nm，光纖輸出，激光控制器，可任意添加其他波段激光
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環(huán)境
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可做暗室屏蔽
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軟件
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基于Labview編寫，全自動掃描，實時結(jié)果顯示�？筛鶕�(jù)客戶需求升級軟件功能。
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其他選配功能
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（1）低溫（77K），分為簡易版（77K，不可變溫），中配版（液氮制冷，可變溫），高配版（液氦制冷，可變溫，臺式閉循環(huán)/循環(huán)流恒溫器）
（2）源表I-V測量（mapping），實現(xiàn)器件的I-V測量，
（3）光譜測試，配備光譜儀，可進(jìn)行樣品空間掃描熒光測試。
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測試結(jié)果展示：
應(yīng)用領(lǐng)域：
微納器件的光電響應(yīng)測試，包括：石墨烯，二維材料，微納半導(dǎo)體材料，有機(jī)材料等制備的光電器件表征。
